半导体加工用HEPA滤芯
详细介绍：
半导体加工用HEPA滤芯
H13/H14级空气过滤器（HEPA）为光刻机、电子束检测机、晶圆传送盒（FOUP）等设备关键模块提供ISO 3-5级（1-100级）局部超净环境，确保传送或加工的晶圆免受大气颗粒物污染。依据EN 1822标准，对MPPS (易穿透粒径) 的过滤效率达到≥99.95% (H13)或≥99.995% (H14)。
光刻机投影物镜物镜内恒温恒湿气体吹扫，超低阻力、高面风速均匀性
涂胶显影设备 (Track)晶圆片盒超净装置 (SMIF Pod) 吹扫低金属离子析出
等离子刻蚀机反应腔室冷却风道进气耐等离子气体腐蚀
PECV预热模块腔室吹扫全不锈钢材质，耐温≥120℃
扩散/氧化炉 炉口区域洁净风幕紧凑型卡槽式设计
